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中科院物理所超灵敏二硫化钼湿度传感器研究获进展

时间:2019-07-01 19:02 来源:未知 作者:admin 阅读:
现阶段对二硫化钼湿度传感器的研究主要受制于加工历程自己引入的残胶对质料外貌的污染,影响了其对水分子的吸附,从而导致敏捷度不高或响应时间过长等问题。因而,怎样获得具有高敏捷、快速响应时间的二硫化钼湿度传感器成为制约其应用的最主要因素。

  针对上述问题,日前,中国科学院物理研究所/北京凝聚态物理国家实验室(筹)纳米物理与器件实验室使用一种新的金剥离要领,加工获得具有洁净外貌的二硫化钼场效应晶体管,从而实现了对水分子的敏捷响应。该项事情由实验室博士赵静在研究员张广宇的指导下完成。

  据悉,这种加工要领主要是使用二硫化钼与金之间的作用力远大于金与衬底间的作用力,从而可以将多余的二硫化钼样品从衬底上完整地剥离下来,同时保证了用于器件的二硫化钼外貌的洁净。使用这种要领一方面有用制止了加工历程中经由反映离子刻蚀后外貌残胶对器件性能的影响,另一方面大大简化了加工历程,获得了具有超清洁外貌的二硫化钼场效应晶体管,其光学、电学性能的显著提高也从另一个方面证实了这种加工要领获得的样品具有更好的性能。

  由于使用这种金剥离要领获得的二硫化钼场效应晶体管具有超清洁的外貌,因此能够敏捷感知外界湿度转变,大大提高了二硫化钼湿度传感器的敏捷度。除了具有超高敏捷度外,由于二硫化钼外貌没有悬挂键,对水分子的吸附是纯粹的物理吸附,因此器件可以很容易地举行脱吸附,有用缩短了响应时间和恢复时间。除此之外,得益于CVD生长的二硫化钼成膜匀称,可以加工获得一系列具有优异性能的二硫化钼湿度传感器阵列,从而对外界差别湿度的空间漫衍起到定位作用,用来实时监测外界湿度漫衍的转变。

  这种基于超清洁外貌的二硫化钼样品加工获得的湿度传感用具有敏捷度高、响应时间和恢复时间短、使用寿命长、空间分辨率高等特征,可以普遍应用于未来无接触定位系统及二维质料多功效柔性传感器阵列领域。 
中科院物理所超灵敏二硫化钼湿度传感器研究获进展

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